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探针台||MPI 8英寸手动探针台

 
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MPI探针台(各尺寸手动、半自动机型;高频、高压机型;高低温机型;力学/光学/真空/磁学模块等等)。

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MPI探针台系统专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比,广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台,简单,直观,方便,  并确保  高度准确的测量

以下是MPI探针台的特点:

 Air-bearing stage-气浮式样品台技术:很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台,内部移动是都会产生摩擦,因此存在了响应慢,易损耗,需定期维护(添加润滑油)等固有缺点。MPI探针台的载物台采用最新的气浮支撑技术,我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点,即消除内部摩擦,避免日常使用损耗,免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动,而不受X/Y导轨限制移动(其他品牌无法同时X/Y移动,只能选一个方向移动)。

b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针:影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁(其他厂家是两段),不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作。

c.温控触屏设计:MPI手动探针台可以选配各类样品台,包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台,及加热样品台(200℃/300℃)。并且配备智能化触摸屏,可以随时快速调节样品台加热问题,实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能,便于客户进行实验设计和测试。

d. Microscope bridge mount:MPI探针台具备了Microscope bridge mount,方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言,如果今后要升级显微镜,只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑,把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。

 

e. 所有核心部件均自行生产:诸如主机台,直流/射频探针座,直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外,MPI探针台的产品线也非常丰富,拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。 

 

设备结构:

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