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探针台| MPI 8英寸射频高低温手动探针台 TS200-SE

 
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MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)旨在确保在-60至+ 300°C的温度范围内提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能。

具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探针系统可提供最大的EMI屏蔽,并允许进行低噪声的器件在片测量,从而可广泛用于各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片级可靠性,故障分析,设计验证,和大功率。

     TS200-SE模块化的模块化设计创造了独特的升级途径。所有TS200-SE探测附件,例如热卡盘,显微镜和定位器,都可以升级或重新配置,以适应涵盖工具使用寿命的各种应用需求,从而使拥有成本越来越低。 


特点与优势:


  • MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的本地环境箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

  • MPI ShielDEnvironment™的一个完全可配置的部分,它允许多达  4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或这些配置的组合。MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于重新配置-很多小事情在简化日常操作方面发挥了重要作用。完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

  • TS200-SE与所有MPI手册TS150,TS200和TS300探针系统共享平台和探针压板提升的独特概念  MPI空气轴承载物台设计具有简单的单手冰球控制,为快速XY导航和快速晶圆装载提供了极为方便的操作。  通过增加精确的25×25 mm XY-Theta千分尺移动,可以实现精确的定位功能。 请另外检查独特的Z卡盘控件。

  • 可重复的(1 µm)压板提升设计具有三个离散的位置,用于接触,分离(300 µm)和加载(3 mm)。  升降机包括一个安全锁旋转装置,可防止平台意外下降。这些功能提供了无与伦比的功能,并且是MPI TS200-SE手动探针系统的标准产品。防止意外的探针或晶片损坏对于系统设计至关重要,并提供直观的控制,准确的触点定位,安全的设置以及简单的步进和重复功能。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。

  • TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括– 5 mm Z吸盘调整(μm分辨率),可实现精确,精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动举升机提供了简便的大陆式装卸程序。

  • TS200-SE可提供各种 卡盘选件, 以满足不同的预算和应用要求:环境卡盘:同轴,三轴或射频,带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准-60°C至300°C的各种ERS AirCool卡盘。

  • 晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下简单锁定–此独特功能使TS200-SE成为市场上最安全的手动探针台。此外,可以通过使用完全集成的触摸屏显示器来操作热卡盘,该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置,以实现快速,操作和即时的反馈。

  • 这些卡盘采用ERS专利AC3冷却技术及其空气管理系统,可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

  • MPI光学器件可以选择单管MPI SuperZoom™SZ10,具有高达12倍光学变焦和超过42毫米工作距离的MegaZoom™MZ12或EeyZoom™EZ10 –具有人体工程学的20倍目镜,90毫米目镜的10倍光学变焦光学元件。工作距离和低至2 µm的光学分辨能力。

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适用于多种晶圆量测应用

MPI ShielDEnvironment™ 

屏蔽环境


工效学设计及弹性选配
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测
• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A



• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电值量测
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C
• 便利的晶圆单片上片,搭配简单快速的晶圆预对准功
能,实现自动化流程简单化
• 垂直点测控制环境 (Vertical Control Environment, VCE™)
,方便安全有效地侧面观察点测区域
• 内建防震系统
• 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作
• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™) 选
配,方便在任意温度进行上片/下片,并自动进行露点控制
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带有探针悬停控制™的独特压板提升:

MPI TS200-THZ手动测头系统具有无与伦比的功能,这些示例均具有高度可重复性(1 µm)的压板提升设计,具有用于接触,分离(300 µm)和加载(3 mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。如果毫米波和次太赫兹范围内的探头成本很高,则此功能尤其重要。

附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。






   

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