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探针台| MPI 8英寸高低温探针台TS2000-SE

 
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MPI TS2000-SE半自动探针台 


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产品特点:


适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测
• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A


MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电值量测
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C


工效学设计及弹性选配
• 便利的晶圆单片上片,搭配简单快速的晶圆预对准功能,实现自动化流程简单化
• 垂直点测控制环境 (Vertical Control Environment, VCE™),方便安全有效地侧面观察点测区域
• 内建防震系统
• 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作
• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™) 选配,方便在任意温度进行上片/下片,并自动进行露点控制



设备简介:     

MPI的TS2000-SE是市场上首款200 mm自动化工程探测系统,集成了专为降低测试成本而设计的创新功能。这些功能集成在MPI ShielDEnvironment™中,可实现超低噪声,非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。

  机台特征:


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ShielDEnvironment™

ShielDCap™

自动化单晶圆装载机安全测试管理™(STM)系统

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的本地环境箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。


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MPI ShielDEnvironment™的一个完全可配置的部分,它允许多达4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或这些配置的组合。

使用MPI ShielDCap™的便捷屏蔽,易于重新配置-许多小事情在简化日常操作方面发挥了重要作用。

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该功能提供了非常方便的晶片装载,并且易于针对自动程序进行预对准。 100毫米,150毫米或200毫米晶片的装卸非常简单直观。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。

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独特的STM系统可防止在测试过程中打开任何门–测量结果安全。在负吸盘温度期间,任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外,智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式-尽快将卡盘加热至露点以上。 MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境,使TS2000-SE的测量更加安全,可靠和方便。

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设定温度下的热/冷硅片互换:

垂直控制环境

™(VCE):

ERS获得专利的AC3冷却技术公司:MPI THZ选择

自动化的单晶片装载机和安全测试管理提供了在任何CHUCKS温度下装载/卸载晶片的独特功能。装载或卸载晶片不再需要冷却或加热到环境温度。这样可以节省大量的停机时间,并显着提高MPI测试系统的整体效率。方便的管理员登录过程可保护必要的设置。

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借助探针头的自动侧视图– VCE™使得接触位置自动化不受探针卡头滴的影响。

这使得使用DC或RF探针卡非常安全,尤其是在MPI ShielDEnvironment™内部。


这些CHUCKS结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

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它将TS2000-SE系统转换为专用的mmW和THz探针台,这是市场上的第一个探针台:
现在可以对200 mm晶圆进行自动化测试,并具有无与伦比的测量精度
MPI THZ Selection融合了MPI为TS200-THZ开发的频率扩展器集成创新设计,可将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上

这将与DUT的距离减至最小,以提供最佳的测量方向性和准确性

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热和振动控制:集成硬件控制面板:系统集成
可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热卡盘,该显示器位于操作员前方的便利位置,以实现快速,快速的操作和即时反馈。

TS2000-SE集成了高性能的振动隔离平台,可以在任何实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的最先进的独立隔振表。可选的仪器架可缩短电缆长度并增加测量动态性和方向性。

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智能硬件控制面板已完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更方便的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要,可以在必要时控制软件,也可以控制基于Windows®的仪器。

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可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高测量动态性和方向性。

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