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探针台| MPI 12英寸半自动探针台 TS3000

 
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MPI TS3000 半自动探针台


产品特点:


1,多种晶圆测量应用

  • 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV

  • 射频、毫米波、负载拉移&4-port

  • -60 300 °C 之集成电路设计验证、失效分析

  • 可靠性测试


2高弹性量测平台

  • MPI IceFreeEnvironment™ 让用户即使是行使低温测试,也能同时使用微定位器与探针卡

  • 可编程的显微镜滑台实现便利的自动化测试

  • 实现电缆接口与集成电路测试仪器距离最短化

  • 实现工作台─载物台距离最短化,是理想的毫米波量测和主动式探针架针平台

  • 支援晶圆切后贴于模框之量测

3,工效学设计及弹性选配

  • 简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计

  • 内建防震系统

  • 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作

  • 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能

  • 预留制冷机组空间,节省空间不占位

  • 仪器架选配,可缩短射频电缆之架设长度,提供最高的量测机能


设备简介:


MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统,专门为产品工程, 故障分析 设计验证 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW 应用而设计。

TS3000功能集提供:

  • 最高温度范围-60…300°C

  • 最大的灵活性

  • 通过设计专用的电缆接口,与功能测试仪的最小电缆距离可实现更好的测量方向性

  • 最小的压板到卡盘高度,以实现最佳的mmW和内部节点探测

  • 最小的系统占地面积,在内部集成了热力系统的冷却器。两者的结合使TS3000探针台成为市场所独有产品。



        机台特征:



 MPI-TS3000-Automated-Probe-System-Fact-Sheet_00.png





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