探针台|晶圆测试光传感器CIS / ALS /SPAD 半自动探针台|SG-O系统集成
型号：SG-O
光学传感器晶圆级测试探针台系统 SG-O是一款CIS、ALS、SPAD、Light-Sensor 晶圆级测试设备（Wafer-Level Optical Testing），它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可提供从400nm到1700nm连续白光光谱，若在许多不同波长下具有一定FWHM的单色光输出。SG-O可以处理200mm~10mm晶圆或芯片，也集成了超低噪音热卡盘(Thermal Chuck)，提供-60°C 至 180°C的宽温度范围。SG-O提供您在CIS/ALS/SPAD/光传感器晶圆设计验证或工艺良率检查中所需的一切。
高度均勻的光源
| 项目 | 规格 |
| 光谱范围 | 400nm 至 1700nm |
| 色温 | 3000K 至 5200K |
| 均匀照明面积 | 42mm x 25mm，工作距离 >200mm |
| 照度均匀度 | 优于98% |
| 短期光不稳定性 | ≤ 1% 超过 1 小时 |
| 长期光不稳定性 | ≤ 1% 超过 10 小时 |
| 工作距离 | ≥200mm |
| 单色光生成 | 可订制 |
| 可变衰减器 | PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步 |
半导体晶圆探针
| 晶圆尺寸能力 | 200mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片 |
| 晶圆处理 | 单晶圆，手动进料型，半自动进料型 |
| 半自动化 | 一步手动对准教和自动模步进 |
SG-O是一套结合高均匀度单色光源系统（400nm - 1700nm）和“自动晶圆探针台”，针对ALS/CIS/SPAD/光传感器芯片的测试解决方案。SG-O不仅可以处理标准8英寸（200mm）晶圆, 也可以扩展处理12英寸（300mm）晶圆和大于1cm x 1cm的芯片（Die）。此外，该方案还集成了超低噪音热卡盘（Thermal Chuck），温度范围涵盖-60℃ ~ 180℃，可快速升温、稳定性高。SG-O提供您在CIS/ALS/SPAD/光传感器晶圆设计验证或工艺良率检查所需要的一切。
适用范围
SG-O适用各种传感器测试分析，包含：
- ToF传感器测试
- InGaAs PD测试
- 激光雷达传感器测试
- 光传感器模拟参数测试
- CIS/ALS/光传感器晶圆测试
- CIS/ALS/光传感器晶圆和良率检查
- 单光子雪崩二极管（SPAD）传感器测试
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