全功能可靠性测试系统




STAR全功能测试系统满足行业的可靠性测试需求,包括热载子注入(HCI)、偏压温度不稳定性(BTI)、OTF、时间相依介电质崩溃(TDDB)、电子迁移(EM )、应力诱导漏电流(SILC)等等。

  • 全功能测试系统

  • 满足工程研发和生产需求


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系统组成:


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Gemini 全功能可靠性测试系统

是HCI、BTI、TDDB、SILC、电子迁移和应力迁移等全功能可靠性测试系统。

  • 先进的IVR-OSL测试系统

  • 高度可配置和订制系统


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Pluto All-in-one Per-Pin SMU 可靠性测试系统是一款高端全功能测试系统,适用在封装级与晶圆级测试,且涵盖HCI,BTI,OTF,TDDB 和 EM 等所有可靠性要求。

产品功能:

是次世代的可靠性测试系统,可提高工程和生产需求的测量精度和效率。


特点和规格:

  • Per-Pin SMU测量速度低至一微秒。

  • 完整的HCI、GOI 和 EM 全合一可靠性测试验证能力。

  • 支持最多960个per-pin SMU并行测试。