MPI 探针台用卡盘系统

• 同轴

• 三轴

• 射频

• 毫米波和

• 大功率夹头

可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面，镀金或纯绝缘材料制成的表面。创新的思维和技术专长使MPI设计与众不同，并且基于特定应用程序的实际需求。

ERS集成技术

在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战。MPI热卡盘的统一软件和硬件集成。新的集成技术IT

• 测量结果，

• 减少维护

• 同类最佳的热特性

• 最快的过渡时间

• 更好的系统平坦度

• 在整个温度范围内具有出色的热分布。

新型300 mm热卡盘AirCool  ®PRIME 牛逼李有成 的家庭，60％，而最大的品种在市场热范围提供与减少浸泡时间无与伦比的热弹性。

这些系统可以配置为具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的较低温度起点，并具有200°C或300°C的较高终点–所有这些为了使热性能适应不同的要求和预算。气冷 ®PRIME 技术可以在没有冷却器的情况下在-10°C下进行测试，或者使用非常小的冷却器在-40°C下进行测试，从而使系统极具成本效益，从而降低了总体测试成本。

 减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值 ®PRIME 热卡盘系

高热稳定性探针台板

所有MPI 300°C系统都包括专用的高热稳定性探针压板，无论温度范围如何，都能实现最佳的接触质量。

ERS获得专利的AC3冷却技术公司

这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。