全自动探针台| FAB厂生产线常用探针台UF3000EX

自动晶圆探测机（以下简称探测器）UF3000EX-e的设计具有以下特点，用于LSI和VLSI。

●应用于大直径晶圆（φ300 mm，高达12英寸） ●自动操作系统 ●清洁环境 ●高精度探测 ●高通量 ●低振动 ●高刚度级多位点探测

高吞吐量 高精度 低振动 最佳接触， 方便快捷的操作 兼容性

采用新开发的专有XY驱动系统，实现了高速，低振动。
与现有产品相比，考虑到环境因设计变化而实现的占地面积小，功耗降低10％

• 从高温到低温采用的测试环境

• 用于测试头的铰链式机械手

• 低噪音测试环境

• 高压测试环境

• 种类繁多的网络环境

• 针道检查功能